电机在真空环境下运行面临的阻碍与普通大气环境截然不同,主要源于缺乏空气介质和高/超高真空的物理特性。如果直接将普通电机放入真空环境,通常会在短时间内失效。
(一)、原理:在大气中,电机主要依靠空气对流(自然风冷或风扇强制风冷)带走热量,这是最高效的散热方式。
(1)真空中没有空气,对流散热完全消失。电机只能依靠热辐射和通过安装底座的热传导来散热。
(2)热辐射的效率与温度的四次方成正比,在低温或中温区效率极低。
(3)热传导受限于接触面积和材料导热性。
(二)、原理:润滑油和润滑脂含有挥发性成分,依赖大气压维持其液态或半固态结构。
(1)挥发/升华:在低压下,润滑剂会迅速沸腾、挥发或升华,导致轴承瞬间失去润滑,进入干摩擦状态,迅速磨损卡死。
(2)真空污染:挥发出的油气分子会弥漫在整个真空腔室内,凝结在低温部件、光学镜头、传感器或半导体晶圆上,造成严重的“油雾污染”,破坏实验或生产环境。
(三)、原理:许多非金属材料(塑料、橡胶、胶水、绝缘漆)内部吸附了气体或含有易挥发的小分子。
(1)在高真空下,这些材料会持续释放气体(出气)。
(2)破坏真空度:放出的气体增加了腔室压力,使真空泵难以维持高真空。
(3)冷凝污染:释放的气体可能在电机内部较冷的部件或外部敏感元件上重新冷凝,形成绝缘薄膜或导电层,导致电气性能下降或短路。
(四)原理:空气是良好的绝缘体,但在低气压下,气体的击穿电压特性遵循帕邢定律。
(1)在某些特定的低气压区间(通常是粗真空到低真空阶段),电极间的击穿电压会显著低于大气压下的数值。
(2)电机运转时产生的高反电动势或高频脉冲容易引发电晕放电或电弧。